超精密メカトロニクス研究室

研究の実際的な応用として，原子レベルを超える精度と分解能を持つ超精密位置決めシステムの実現と，超微細加工・測定システムへの応用を最終的な目標として次の研究を行っています．

■ミリストローク超精密位置決め機構の実現
－弾性案内-リニアモータ駆動によるミリストローク超精密位置決め機構の開発
－差動ボールねじを用いたミリストローク超精密位置決め機構