超精密メカトロニクス研究室
A. 精密位置決め機構とその構成要素の諸特性の工学的な解明と性能の改善
代表的な位置決め要素である送りねじの機械要素単体としての特性を実験的に究明し,個々の要素特性とシステム全体の特性との関係を明らかにするとともに,それらの特性を考慮した制御方法を検討しています.
■送りねじの特性解明と性能改善
-ボールねじの微視的変位挙動の解明と位置決め性能の向上
-半浮上すべり送りねじの開発
■精密位置決め機構の動特性と制御
-高機能粘弾性要素を付加した送りねじ機構による超精密位置決め
-水平多関節型位置決め機構の高精度化