超精密メカトロニクス研究室

Aで得られた精密位置決めシステムに関する知見を一般化し，精密機械システムの一般理論の構築および設計手法の体系化へと結びつけることを目指しています．精密工学会超精密位置決め専門委員会の体系化小委員会委員長（深田）としての活動に反映されており，その成果は「次世代精密位置決め技術」と題して出版された著書（深田： 編集委員および分担執筆）に集約されています．