3次元高分解能X線顕微鏡　

＜空間分解能＞	500 nm
＜長作動距離分解能＞	1.0 µm
＜最小達成可能ボクセル＞	40 nm
＜X線源管電圧範囲＞	30–160 kV
＜X線源最大出力＞	25 W
＜視野モード＞	0.4、4、20、40倍対物レンズ、広範囲観察用フラットパネル
＜試料サイズ＞	2–100 mm
＜手法＞	X線顕微鏡
＜テクノロジー＞	X線トモグラフィー
＜使用目的＞	観察・精密計測
＜解析ソフト＞	Dragonfly (Object Research Systems社)

・X線を照射して、検査対象物を回転させることで、製品の内部構造や欠陥を非破壊で検査することができます。
・コンピュータを利用して、製品の内部画像を立体的に構成し、X線透過画像とX線断面画像を取得できます。
・電子部品、樹脂成形品、微小部品、機械部品、生物・生体試料を対象試料としています。
・内部構造の可視化、空孔・欠陥の観察など幅広い応用が可能です。

測定事例

測定事例（一般用）　　　　　　　　　測定事例（研究用）

　　撮影事例：USBメモリ　　　　　　　撮影事例：生体材料

　　撮影事例 : どんぐり　　　　　　　　撮影事例 : 導電性材料

　　撮影事例 : 松ぼっくり

　　撮影事例：単5電池

　　撮影事例：イヤホン

　　撮影事例 ：プラグ

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