ダブル球面収差補正付透過電子顕微鏡

球面収差補正装置	EM-Z0716T　2段付き
加速電圧	80〜200kV
元素分析機能	EELS、EDS

日本電子製透過型電子顕微鏡JEM-2100FにCEOS社の収差補正装置を照射系 (CESCOR)と結像系 (CETCOR)に備えた装置です。
収差補正装置の導入により、従来球面収差によって制限されていた分解能が飛躍的に向上しました。また炭素材料等の軽元素材料において生じるノックオンダメージを軽減するために加速電圧を80kVに下げた状態で運用しています。これらにより、電子線による構造変化が生じる前にナノカーボン材料中の六員環構造を観察することができます。
走査型透過型電子顕微鏡 (STEM)モードでは明視野検出器、およびコントラストが原子番号の~2乗に比例する高角散乱環状暗視野 (HAADF)検出器の利用が可能です。HAADFモードではコントラストの違いから元素分布についての分析が可能となります。またSTEMモードではエネルギー分散X線分光 (EDS)、電子線エネルギー損失分光 (EELS)の検出器も利用でき、微小領域の元素・化学分析が可能です。

お問い合わせ・利用相談はこちら

装置紹介一覧へ戻る