原子分解能分析電子顕微鏡

メーカー
日本電子株式会社
機種
JEM-ARM200F NEOARM
用途
透過型電子顕微鏡
原子分解能分析電子顕微鏡

基本仕様

電子銃冷陰極電界放出電子銃
加速電圧30kV、80kV、200kV
STEM-HAADF分解能200kV：0.078nm、80kV：0.111nm、30kV：0.192nm
粒子像TEM分解能200kV：0.23nm、80kV：0.35nm、30kV：0.41nm
収差補正装置STEM：NEO ASCOR搭載
収差補正装置自動調整システムNEO JEOL COSMO 自動収差補正システム、その場チューニングシステム
磁場フリーモードローレンツ・倍率設定モード（画面上×50～80k）
試料移動機構X, Y, Z スーパーファイン機械駆動、ウルトラファイン・ピエゾ素子駆動
シリコンドリフト検出器2本搭載

概要・用途（支援例等）

・球面収差補正装置ASCOR(Advanced STEM corrector)とCold-FEGとの組み合わせにより、高加速電圧から低加速電圧まで、幅広い加速電圧において原子分解能での観察が可能です。
・JEOL COSMO(自動収差補正システム)により、標準試料なしで4次収差まで高精度かつ迅速に補正することができます。
・新型STEM検出器、ABF(Annular Bright Field)検出器が搭載されており、軽元素のコントラストを向上させる新たなSTEMイメージング手法(e-ABF:enhanced ABF)が可能です。軽元素を　　　含む材料の原子レベルでの構造観察ができます。
・磁場フリーで試料を観察できるLorentz lens settingsを搭載しているため、強磁性の試料も観察できます。
・従来のTEMは暗い部屋での作業でしたが、Viewing Cameraシステムにより、明るい部屋で作業ができるようになりました。

お問い合わせ・利用相談はこちら

装置紹介一覧へ戻る

関連設備・機器