リモート対応型電子線マイクロアナライザー
- 機種
- JA-iHP2000F
オージェ電子顕微鏡
- メーカー
- 日本電子株式会社
- 機種
- JAMP-9510F
- 用途
- 分光・表面分析
基本仕様
| 電子照射系 二次電子分解能 | 3nm（25kV、10pA） | |
|---|---|---|
| オージェ分析時の最小プローブ径 | 8nm（25kV、1nA） | |
| 加速電圧（電子銃） | 0.5～30kV | |
| プローブ電流（電子銃） | 10-11～2×10-7A | |
| 倍率（電子銃） | 25～500,000倍 | |
| エネルギー分解能（ΔE/E） | 0.05％～0.6％ | |
| 感度 | 840,000cps（7チャンネル検出器）、Cu-LMM、10kV、10nA | |
| 検出器 | チャンネルトロンによる多重検出 | |
| 加速電流（イオン銃） | 0.01～4kV | |
| イオン電流量（イオン銃） | 3kV時：2μA以上（吸収電流値）、10V時：0.03μA以上 | |
| 中和機能（イオン銃） | 組込み | |
| 試料ステージ移動範囲 | X.Y軸：±10mm、Z軸：±6ｍｍT軸：0～90°、R軸：360°（エンドレス） | |
| 試料サイズ | 最大 20ｍｍφ×5ｍｍＨ | |
| 試料室到達圧力 | 5×10-8Pa以下 |
概要・用途（支援例等）
ナノからマイクロ領域の化学結合状態分析をハイスループットで実現する静電半球型アナライザー、EPMAにも採用されている安定した大電流を供給するフィールドエミッション電子銃を備えたオージェ電子分光装置です。
高精度ユーセントリック試料ステージとフローティング型イオン銃を備えることにより、金属試料から絶縁物試料まで、組成情報から化学情報まで、サンプルを選ばない汎用性を持ちます。
【アプリケーション】
データ収集：スペクトル、デプスプロファイル、ラインプロファイル、オージェ像、二次電子像、広域マップ分析（オプション）
データ処理：定性・定量分析、微分・平滑化、画像処理、テキスト入力、ピーク分離ソフト
