CVDダイヤモンド合成装置

この装置は先行事業ナノテクノロジープラットフォーム事業にて導入された設備であり、合成支援においてご利用いただける機材です。
ダイヤモンドは天然もの、高温高圧法による粒状ダイヤ、爆薬法による微細ダイヤモンドが知られていますが、プラズマ中で励起された水素ラジカルの特殊作用で減圧下でもダイヤモンドが合成できます。 1100℃近辺でのメタンの熱分解を細かく解析すると析出する炭素には sp2性（グラファイトの性質）と sp3性（ダイヤモンドの性質）の両者が混在します。雰囲気に水素ラジカルを多量に共存させると sp2 性炭素が除去され、高純度のダイヤモンドが得られます。
この方法は簡便で、膜状に成長できるためダイヤモンドの新しい使用法が考えられます。さらに、原料系にホウ素源を添加するとダイヤモンド内にホウ素が取り込まれたBDD(Boron doped diamond)を得ることができ、導電性のある耐久性ダイヤモンドの作製に挑戦することができます。
※合成支援で利用可