走査型電子顕微鏡システム

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・分解能　二次電子像で加速電圧15kV時に1.0nm以下、1kV時に2nm以下。

・倍率　低倍率×25以下～高倍率×800,000。

・上方二次電子像、下方二次電子像、反射電子組成像、反射電子凹凸像、低角度反射電子像。

・エネルギー分散型X線分析装置（EDS）のエネルギー分解能は軽元素の検出用の130eV以下。

・検出可能元素　ホウ素からウランまで。

・波長分散型Ｘ線分析装置（WDS）の分光器は横型分光器タイプで結晶交換は自動交換方式、検出可能元素はホウ素からウラン。

・収集したWDSスペクトルをEDSスペクトルと重ねて表示。

・結晶方位解析装置（EBSD）の検出器は12bitデジタルCCD、1344×1024画素、検出器モータ駆動式、結晶・EBSDの3D表示可能。

規格	日本電子　JSM-7600F
利用料金（円）	非営利組織：980/時間営利組織　：3,600/時間

・分解能　3.0nm（30ｋV）、10nm（3ｋＶ）、低真空モードで4.0nm（30ｋV）。

・倍率5倍～30万倍。

・試料ステージの試料傾斜時にフォーカスと視野ずれのないユーセントリックで、3軸モータ駆動。

・試料ステージ組込みＣＣＤカメラで取得したカラー画像上で観察位置を指定後、指定位置までステージが移動。

・最大試料サイズは150mmφ。

・低真空設定の場合、試料真空は10Pa以下～270Paで使用可能。

・含水性の生物試料や電子線照射に弱い試料の観察のための冷却試料ステージ（-20℃以下）を装備。

規格	日本電子　JSM-6510LV
利用料金（円）	非営利組織：840/時間営利組織　：3,000/時間

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信州大学　研究推進部研究支援課
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