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Experimental device

◆単結晶育成の主要装置

  • 小型電気炉(3台),大型電気炉(1台),高温加熱炉(2台),減圧加熱炉(1台)
  • 雰囲気制御型赤外加熱装置(2台),卓上簡易型電気炉(12台),高温管状炉(2台)
  • 単結晶引上装置(1台),単結晶薄膜製造装置(1台),マイクロ波加熱装置(1台)
  • ウォークインタイプ雰囲気制御管状炉システム(アンモニア窒化対応)
  • 特殊ホットプレス装置(1台),特殊乾燥焼成装置(1台) など

◆単結晶育成のための必須アイテム

  • 白金るつぼ,アルミナるつぼ,炭素るつぼ,モリブデンるつぼ,石英るつぼ など

◆単結晶育成のための必須アイテム

  • マグネトロンスパッタ装置,抵抗加熱型真空蒸着機,ナノ粒子成膜機
  • 減圧プラズマCVD装置(平行平板,RF:2台),大気圧プラズマ照射装置
  • ダイヤモンド成膜用マイクロ波プラズマCVD装置
  • 真空紫外光照射装置(172nm:2台,222nm:1台,特殊チャンバー)
  • スパッタ装置(JFC-1600),スピンコーター(SC-300),ディップコーター
  • 連続塗工用ダイコータ―,スピンスプレー薄膜作製装置 など

◆分析・評価の主要装置

  • EDS付フィールドエミッション型走査電子顕微鏡(EDS-FESEM)(JSM-7600F+UltraDry)
  • EDS付フィールドエミッション型走査電子顕微鏡(EDS-FESEM)(JSM-7600F+UltraDry)
  • 走査型電子顕微鏡(SEM)(JCM-5700)
  • X線光電子分光装置(XPS)(JPS-9010MX)
  • In-situ X線回折装置(IS-XRD)(SmartLab+ReactorX)
  • X線回折装置(XRD:2台)(MiniflexII,Miniflex300)
  • 顕微レーザーラマン分光測定装置(RAMAN)(LabRAM HR Evolution)
  • 原子間力顕微鏡(SPM)(SPA-300HV+NANONAVI+SPI4000)
  • 原子間力顕微鏡(SPM)(Nanocute-SS),マニュアルプローバー
  • フーリエ変換赤外分光装置(FTIR-6100)
  • ICP発光分光分析装置(SPS5510)
  • 高温差動型示差熱天秤(ThermoPlusEVOII TG8120)
  • 高温型熱機械分析装置(ThermoPlus2II TMA8310)
  • 高感度示差走査熱量計(ThermoPlusEVOII DSC8230)
  • ナノ粒子径分布測定装置(SALD-7100)
  • 紫外線ファイバースポット照射装置(SUPERCURE-204S)
  • ソーラーシミュレータ,精密試料研磨装置
  • 光干渉型三次元形状測定システム(ContourGT-K0)
  • 自動接触角計(DropmasterDM-300),ホール効果・比抵抗測定装置(RESITEST8400)
  • 吸着装置(Belsorp-MiniII,Belsorp-18 PlusW-T)
  • 蛍光分光光度計(FP-6600:日本分光,F7000:日立),紫外可視赤外分光光度計
  • 紫外可視分光光度計(Agilent8453),LED評価システム(電流・電圧・輝度)
  • 電気化学測定システム(HZ-5000),周波数特性分析器(FRA5020A)
  • 電池充放電装置(2台,HJ1005SD8H),回転電極装置(HR-201,HR-202)
  • 新世代高性能ポテンショスタット/ガルバノスタット(2台,VST-300)
  • デジタルマイクロスコープ(VHX-900),蛍光顕微鏡,正立型顕微鏡 など

◆その他

  • ガス循環精製装置付真空グローブボックス(2台)
  • グローブボックス,インキュベータ,ホモジナイザー,光触媒反応系,
  • ガス循環系真空排気装置,リチウムイオン二次電池組み立て装置はじめ,
  • 多数実験設備を保有しています。