ナノテクノロジープラットフォーム事業は令和3年度で終了し、 新たに「マテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)」事業に移行しました。
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なお、事業移行に伴い、本Webサイトは基本情報の更新を終了します。

装置一覧

X線光電子分光装置(XPSまたはESCA)

アルバックファイ QuanTeraⅡ

表面電子状態分析支援

基本仕様

分析可能元素:Li~U

分析面積:最少75μm~mmオーダー
分析深さ:数nm
試料サイズ:75mm×75mm×20mm
イメージング
科学状態

概要・用途

試料にX線を照射し試料内部から放出される光電子のエネルギーを測定することにより、試料極表面の元素組成、化学結合状態の解析を得意とします。本拠点のXPSには、単色化AIアノード及びAr+イオンを同時に用いる中和銃が備え付けられており、高感度かつ容易に元素組成/化学結合状態の解析が可能となります。
表面改質効果、異種元素ドープ効果を検証することにより分散技術の開発、さらにはコンポジットやコーティングの技術開発等への応用が期待されます。

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