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X線光電子分光装置

SHIMADZ AXIS Ultra DLD

表面電子状態分析支援

基本仕様

分析可能元素:Li~U
分析面積:最少15μ~mmオーダー
分析深さ:数nm
試料サイズ:25mm角 高さ
イメージング:分解能3μの元素像、科学状態

概要・用途

試料にX線を照射し試料内部から放出される光電子のエネルギーを測定することにより、試料極表面の元素組成、化学結合状態の解析を得意とします。本拠点のXPSにはAI/MgのDualアノードに加え、単色化AIアノードが備え付けられているため、X線源を変えることにより光電子ピークとAuger電子ピークのオーバーラップや、サテライトピークの影響を軽減でき、高感度かつ容易に元素組成/化学結合状態の解析が可能となります。
表面改質効果、異種元素ドープ効果を検証することにより分散技術の開発、さらにはコンポジットやコーティングの技術開発等への応用が期待されます。

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