ナノテクノロジープラットフォーム事業は令和3年度で終了し、
新たに「マテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)」事業に移行しました。
(マテリアル先端リサーチインフラ事業のサイトはこちら)
なお、事業移行に伴い、本Webサイトは基本情報の更新を終了します。
日立HD-2300A TEM・STEM装置です。超薄膜評価装置として利用可能です。明視野像と暗視野像を高分解能で得ることが可能で微細構造観察と軽元素等の分析をSEM並みの操作で手軽に行うことが可能となっています。半導体デバイス等の分析や構造解析で力を発揮します。