装置一覧

走査型透過電子顕微鏡

日立HD-2300A

高分解能観察支援

基本仕様

加速電圧:200 kV
倍率:低倍率モード100~1,000倍
高倍率モード:1,500~10,000,000倍
観察機能:明視野STEM,暗視野STEM 他

概要・用途

日立HD-2300A TEM・STEM装置です。超薄膜評価装置として利用可能です。明視野像と暗視野像を高分解能で得ることが可能で微細構造観察と軽元素等の分析をSEM並みの操作で手軽に行うことが可能となっています。半導体デバイス等の分析や構造解析で力を発揮します。

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