装置一覧
精密触媒制御ナノカーボン合成・分析装置
反応解析支援
基本仕様
システム構成：触媒形成用MBE 観察用高真空STM CVD
基材搬送：高真空下半自動
MBE：ソース4種 （Feなど）
CVD最高温度：～1000℃
STM：原子像観察可
ナノテクノロジープラットフォーム事業は令和3年度で終了し、
新たに「マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）」事業に移行しました。
（マテリアル先端リサーチインフラ事業のサイトはこちら）
なお、事業移行に伴い、本Webサイトは基本情報の更新を終了します。
システム構成：触媒形成用MBE 観察用高真空STM CVD
基材搬送：高真空下半自動
MBE：ソース4種 （Feなど）
CVD最高温度：～1000℃
STM：原子像観察可