ナノテクノロジープラットフォーム事業は令和3年度で終了し、 新たに「マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）」事業に移行しました。
（マテリアル先端リサーチインフラ事業のサイトはこちら）
なお、事業移行に伴い、本Webサイトは基本情報の更新を終了します。

装置一覧

電界放出型走査電子顕微鏡

日立SU-8000

高分解能観察支援

基本仕様

加速電圧　　最低500V～
検出法　　　再表面組成測定用にTop検出器搭載
試料サイズ　直径150mm
ステージ　　モーター駆動

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