装置一覧

電界放出型走査電子顕微鏡

日立SU-8000

高分解能観察支援

基本仕様

加速電圧  最低500V~
検出法   再表面組成測定用にTop検出器搭載
試料サイズ 直径150mm
ステージ  モーター駆動

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