ナノテクノロジープラットフォーム事業は令和3年度で終了し、 新たに「マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）」事業に移行しました。
（マテリアル先端リサーチインフラ事業のサイトはこちら）
なお、事業移行に伴い、本Webサイトは基本情報の更新を終了します。

装置一覧

CVD反応装置

ナノカーボン合成支援

基本仕様

加熱ゾーン：3分割
最高使用温度：1200℃（カンタル線発熱体）
反応管材質：セラミックス
反応圧力：常圧

概要・用途

縦型・横型反応装置、減圧機能付きなど多彩に対応

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