ナノテクノロジープラットフォーム事業は令和3年度で終了し、 新たに「マテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)」事業に移行しました。 (マテリアル先端リサーチインフラ事業のサイトはこちら) なお、事業移行に伴い、本Webサイトは基本情報の更新を終了します。
マイクロ波電源 2.45GHz 5kw試料径 2インチ(~4インチ)加熱・冷却型試料ステージ付 室温~約900℃制御 オートチューニング使用ガス H2、CH4、O2二色式放射温度計搭載製膜中のプラズマ発光分光付