ナノテクノロジープラットフォーム事業は令和3年度で終了し、 新たに「マテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)」事業に移行しました。
マテリアル先端リサーチインフラ事業のサイトはこちら
なお、事業移行に伴い、本Webサイトは基本情報の更新を終了します。

装置一覧

マイクロ波プラズマCVD装置

SEKIDIAMOND AX6350

反応解析支援

基本仕様

マイクロ波電源 2.45GHz 5kw
試料径 2インチ(~4インチ)
加熱・冷却型試料ステージ付    室温~約900℃
制御 オートチューニング
使用ガス H2、CH4、O2
二色式放射温度計搭載
製膜中のプラズマ発光分光付

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