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マイクロ波プラズマCVD装置

SEKIDIAMOND AX6350

反応解析支援

基本仕様

マイクロ波電源 2.45GHz 5kw
試料径 2インチ(~4インチ)
加熱・冷却型試料ステージ付    室温~約900℃
制御 オートチューニング
使用ガス H2、CH4、O2
二色式放射温度計搭載
製膜中のプラズマ発光分光付

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