費用は全て税込み価格です。
(令和6年4月1日更新）| 装置名 | 使用料 |
|---|---|
| 走査型X線光電子分光分析装置（ESCA） | 9,020円 |
| 電子プローブマイクロアナライザー（FE-EPMA） | 11,220円 |
| 微小領域2次元X線回折装置（IP-XRD） | 7,500円 |
| 電界放射型走査電子顕微鏡（FE-SEM TSM-7000F） | 7,500円 |
| 蛍光X線分析装置 | 5,610円 |
| 集束イオンビーム加工機（FIB） | 9,020円 |
| 走査型透過電子顕微鏡（STEM） | 11,220円 |
| 微小領域機会特性評価装置(ナノインデンテーション） | 9,020円 |
| 複合ビーム加工観察装置 | 11,220円 |
| オージェ電子顕微鏡 | 9,020円 |
| 飛行時間型二次イオン質量分析装置（TOF-SIMS） | 11,220円 |
| 試料水平型強力X線解析装置（SmartLab） | 9,020円 |
| 透過型電子顕微鏡(JEM-ARM200F） | 15,000円 |
| 電解放出型走査電子顕微鏡(SU8000） | 9,020円 |
| ※精密触媒制御ナノカーボン合成・分析装置（MBE) | 11,200円 |
| ※マイクロ波CVDダイヤモンド成膜装置 | 11,220円 |
| ※ダブルCs透過型電子顕微鏡 | 11,220円 |
| レーザラマン分光装置 | 4,500円 |
| ３次元高分解能X線顕微鏡 | 11,220円 |
| ※FIB/SEM | 11,220円 |
| 操作料 | 8,500円 |
| 試料作製 | 5,610円 |
| 解析料 | 8,500円 |