装置一覧
走査型X線光電子分光分析装置(ESCA)
ナノカーボン材料の作製分野
基本仕様
性能：最小ビーム径 7.5μm 以下
検出器 32 チャンネル
X 線スキャン範囲 最大1.4 ? ×1.4 ? (連続可変)
イオン銃加速電圧 0 ? 5kV
イオン銃ラスター範囲 最大5 ? ×5 ? (連続可変)
到達真空度 6.7×10の-8乗 Pa 以下
性能：最小ビーム径 7.5μm 以下
検出器 32 チャンネル
X 線スキャン範囲 最大1.4 ? ×1.4 ? (連続可変)
イオン銃加速電圧 0 ? 5kV
イオン銃ラスター範囲 最大5 ? ×5 ? (連続可変)
到達真空度 6.7×10の-8乗 Pa 以下