【装置】JEM-2010 ELECTRON MICROSCOPE(JEOL)【最高加速電圧】最大200kV【最小分解能】0.11nm【評価に適した試料】ナノ粒子等
・ナノメートルスケールまで拡大観察することができます。・観測された電子線回折パターンに基づき、結晶構造を推測できます。・EDS分析より、微小な電子線照射領域の組成を解析できます。