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電界放射型走査電子顕微鏡（FE-SEM）
Field-emission type scanning electron microscope
ナノカーボン機構デバイス分野ほか全分野
基本仕様
【装置】日本電子製
【二次電子分解能】1.5nm (30kV)、5nm（5kV）
・反射電子像（組成像）、凹凸像観察可
・EDSによる定性分析、マッピング可能
概要・用途
SEMは電子銃で作られた電子線束を電子レンズ（集束・対物レンズ）で集束させて偏向コイルで2次的に試料表面を走査し、試料面から発生する2次電子をシンチレータで検出して操作像を得ます。
本共用装置の電界放射型（FE）SEMは電子銃の輝度が極めて高いため、一般のSEMよりも高分解能の像を得ることができます。さらに本装置にはEDSが装着されているので定性分析も可能です。