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電子線マイクロアナライザ(EPMA)

Electron probe micro-analyzer

ナノカーボン機構デバイス分野

基本仕様

【装置】島津製作所製 EPMA-1610
【試料最大寸法】100×100×50mm
【最小分解能】1μm
【二次電子分解能】W:6nm 30kV
【分析元素】5B?92U
【評価に適した試料】薄膜、金属、セラミック、岩石等

概要・用途

・電子銃にCeBixを使用しているためWタイプに比べて高分解能(サブミクロン)の解析ができます。
・5B?92Uの元素について、定性分析、定量分析ができます(定量分析には標準試料が必要)。
・観察視野内のマッピング分析により、どの元素が、どこに、どのくらい含まれているかがわかります。

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