概要・用途

EPMA (Electron Probe Micro Analyzer)は、真空中で細く絞った電子線を試料表面に照射し、表面の組織や形態の観察と、発生する特性Ⅹ線を分析し、元素や定量値を得る装置です。Ⅹ線の検出には、エネルギー分散型分光器（EDS or EDX）と波長分散型分光器（WDS）があり、EPMAでは主にWDSを装備しています。
WDSのエネルギー分解能は数10eV程度であるため、含有元素のスペクトルがオーバーラップする可能性が低く、特性Ⅹ線スペクトルのP/B比が高いため、微量元素の検出限界は数10ppm程度に達します。（EDS or EDXのエネルギー分解能は、 130eV程度であり、微量元素の検出限界は　　0.1％程度）
分析試料は、金属材料、地質鉱物、セラミックス、電子材料、半導体材料、高分子材料や食品等、多岐にわたります。装置に標準試料を用いて校正された感度曲線データが格納されているため、定性分析より簡易定量値を得ることができます。定性分析、定量分析、面分析（Mapping）、線分析が行えます。
当大学のEPMAは、電子銃に電界放出型電子銃（Fieled Emission Electron Gun）を搭載した「FE-EPMA」で、高倍率で空間分解能の高いSEM像と分析結果が得られます。