| 装置 | 熱分解CVDライン |
| できること | カーボンナノチューブの合成 |
| メーカー | 自作 |
| 機種名 | なし |
| 使用開始年月日 | 2000年8月 |
| 特徴 | 反応管：１インチ石英管 電気炉：最高1100度 ガス：メタン、アセチレン、窒素 |
| 装置 | 熱分解CVDライン |
| できること | カーボンナノチューブの合成 |
| メーカー | 自作 |
| 機種名 | なし |
| 使用開始年月日 | 2001年8月 |
| 特徴 | 反応管：直径5cm石英管 電気炉：最高1100度 ガス：プロピレン、窒素 |
| 装置 | マイクロ波CVDライン |
| できること | ダイヤモンドの合成 ホウ素ドープダイヤモンドの合成 |
| メーカー | 自作 |
| 機種名 | なし |
| 使用開始年月日 | |
| 特徴 |
| 装置 | プラズマCVDライン |
| できること | 表面フッ素処理 |
| メーカー | 自作 |
| 機種名 | なし |
| 使用開始年月日 | |
| 特徴 | フッ素源: SF6 |